Kernausrüstung der automatisierten PR-Reinigungsproduktionslinie für Hersteller von LCD-Displays
Die automatisierte Produktionslinie für die PR-Reinigung (Fotolack) ist eine zentrale Nassprozessausrüstung bei der Herstellung von LCD-Displays. Es wird hauptsächlich nach dem Fotolithografieprozess auf dem Array-Substrat verwendet, um restliches Fotolack, Ätzrückstände und Mikroverunreinigungen auf der Oberfläche gründlich zu entfernen. Es handelt sich um eine entscheidende Ausrüstung, um die Präzision der Schalttafelschaltung sicherzustellen und die Produktausbeute zu verbessern. Es eignet sich perfekt für die strenge Produktionsumgebung eines Reinraums der Klasse 100 und ermöglicht hoch{5}präzise, automatisierte und schadstofffreie{6}freie geschlossene{7}Reinigungsvorgänge.
Es zielt auf die positiven und negativen Fotolackrückstände nach dem Fotolithografieprozess ab und nutzt einen mehrstufigen Ultraschallreinigungs- und Überlaufspülprozess mit reinem Wasser, um Rückstände, organische Verunreinigungen, Staubpartikel und andere Verunreinigungen, die nach dem fotolithografischen Ätzen zurückbleiben, gründlich zu entfernen. Es kann mikroskopisch kleine Rückstände unter 0,5 μm gründlich entfernen und so Defekte wie offene Schaltkreise, helle Flecken und durch Verunreinigungen verursachte Mura-Flecken verhindern. In Kombination mit einem 0,1 μm hochpräzisen Filtersystem wird eine Sekundärkontamination verhindert. Es ermöglicht eine gründliche, beschädigungsfreie Entfernung und vermeidet die Auswirkungen restlicher Klebeschichten auf nachfolgende Ätz- und Beschichtungsprozesse mit einer Entfernungsabdeckungsrate von 100 %.
Das eingebaute ESD-Modul zur elektrostatischen Steuerung regelt den elektrostatischen Wert streng im Bereich von weniger als oder gleich ±100 V. In Kombination mit dem antistatischen Hohlraummaterial und der berührungslosen Magnetrad-Zuführungstechnologie wird verhindert, dass elektrostatische Entladungen die Präzisionsschaltkreise des Panels beschädigen, und verhindert gleichzeitig Kratzer, Absplitterungen und Staubbildung durch Reibung auf dem Glassubstrat, wodurch der Schutz der Integrität des Substrats maximiert wird.
Testkammer mit konstanter Temperatur für hohe und niedrige Temperaturen
Der Kern der automatischen Reinigungs- und Trocknungsproduktionslinienausrüstung für Hersteller von LCD-Bildschirmen umfasst einen dualen Trocknungsmodus: Luftmesserschneiden und Heißlufttrocknung bei konstanter -Temperatur. Dadurch werden Wasserflecken schnell von der Substratoberfläche entfernt und eine wasserfleckenfreie und spurenfreie Trocknung erreicht. Nach dem Trocknen geht der Feuchtigkeitsgehalt der Substratoberfläche gegen Null, was eine direkte Übertragung zum nächsten Prozess ohne Nachbearbeitung ermöglicht und so die Prozesskontinuität gewährleistet. Ein SPS-Steuerungssystem ermöglicht einen vollautomatischen Closed-Loop-Betrieb für Beladung, Positionierung, Reinigung und Entladung. Es unterstützt Echtzeitüberwachung und Alarmfunktionen für die Anpassung der Konzentration der Reinigungslösung, der Temperatur, der Luftfeuchtigkeit und der Sauberkeit. Die versiegelte Kammer und das Gradientenunterdruckdesign verhindern das Austreten von chemischem Gas. In Kombination mit der Überdruckumgebung eines Reinraums der Klasse 100 ermöglicht es außerdem das Recycling von Reinstwasser sowie die Klassifizierung und Rückgewinnung von Abfallflüssigkeiten und erfüllt so sowohl Energieeinsparungs- als auch Umweltschutzanforderungen.
Im Vergleich zur herkömmlichen manuellen Reinigung bieten vollautomatische PR-Reinigungsproduktionslinien unersetzliche Vorteile: Die Reinigungseffizienz wird um mehr als das Dreifache erhöht und es können fast 10.000 Glassubstrate pro Schicht verarbeitet werden, was den Prozesszyklus erheblich verkürzt. Die Reinigungskonsistenz ist ausgezeichnet. Mikrorückstände, die kleiner als 0,5 μm sind, werden gründlich entfernt. Die Fehlerrate des Panels wird auf 0,5 PPM begrenzt, wodurch Fehler wie helle Flecken, dunkle Flecken und Schaltkreisunterbrechungen auf dem Bildschirm effektiv vermieden werden. Die Ausrüstung verfügt über ein wasser{6}}sparendes und energiesparendes-Design mit einer hohen Reinwasserrückgewinnungsrate und einer klassifizierten Abwassersammlung und -aufbereitung, wodurch die Produktionsanforderungen des Umweltschutzes erfüllt werden. Die gesamte Maschine besteht aus korrosionsbeständigem PVC und SUS304-Edelstahl mit starker Abdichtung, einfacher Reinigung und Wartung und ist für den 24-Stunden-Dauerbetrieb in Reinräumen geeignet. Sie wird zur Standardausrüstung für LCD-Bildschirmhersteller, um High-End-Produktlinien aufzubauen und die Wettbewerbsfähigkeit zu steigern.
Kernausrüstung in der Fotolithographie-Werkstatt von LCD-Display-Herstellern
Die Belichtungsausrüstung ist die Kernausrüstung in der Fotolithografie-Werkstatt und ein wichtiger Prozessbereich im Herstellungsprozess des LCD-Arrays. Auch als Panel-Lithographiemaschine bekannt, handelt es sich um ein hochpräzises optisches Nassprozessgerät. Seine Hauptfunktion besteht darin, das Schaltungsmuster des Substrats durch optische Belichtung auf ein mit Fotolack beschichtetes Glassubstrat zu übertragen, was für die Bildung von Mikroschaltungen im Panel von entscheidender Bedeutung ist. Die präzise Übertragung des Schaltkreismusters von der Fotomaske auf das Glassubstrat ist die Voraussetzung für nachfolgende Ätz-, Beschichtungs- und PR-Reinigungsprozesse und bestimmt direkt die Qualität des Bildschirms. Das Gerät verwendet einen berührungslosen Belichtungsprozess, der für große, dünne LCD-Glassubstrate geeignet ist und Kratzer, Beschädigungen und Verunreinigungen des Substrats vermeidet.
Zu den wichtigsten technologischen Highlights gehört ein hoch{0}}präzises Ausrichtungssystem mit einer Überlagerungsgenauigkeit im Mikrometer--- oder sogar Sub-Mikrometer---Bereich, das sicherstellt, dass beim mehrschichtigen Schaltkreisstapeln keine Fehlausrichtung auftritt und die Fehler auf wenige Tausendstel eines Haardurchmessers kontrolliert werden; die Verwendung einer gleichmäßigen Belichtungslichtquelle und einer dynamischen Fokussierungstechnologie, um Schwankungen der Belichtungsenergie zu erreichen<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
In der gesamten Werkstatt wird eine monochromatische gelbe 589-nm-Lichtquelle verwendet, die kurzwelliges Licht wie ultraviolettes, blaues und weißes Licht vollständig herausfiltert und so verhindert, dass diese Strahlen vorzeitig photochemische Reaktionen im Fotolack auslösen und schwerwiegende Defekte wie Musterfehlausrichtungen, unvollständige Leitungen, Kurzschlüsse und offene Schaltkreise verursachen. Das Beleuchtungssystem verwendet eine Kombination aus speziellen gelben LEDs und Doppelschichtfiltern, um das Austreten von Streulicht zu verhindern. Türen, Fenster und Beobachtungsfenster sind mit Anti--UV-Filtermaterialien ausgestattet; Mobiltelefone, Kameras, leistungsstarke Taschenlampen und andere externe Lichtquellen sind in der Werkstatt strengstens untersagt. Außerdem ist eine flächendeckende Lichtdisziplinkontrolle implementiert, um das Risiko einer vorzeitigen Freilegung von Fotolack aus der Quelle auszuschließen.
Einführung in Reinräume der Klasse 100 für Hersteller von LCD-Displays
Im Bereich der hochpräzisen LCD-Herstellung sind Reinräume der Klasse 100 (Reinräume der ISO-Klasse 5) die Kernproduktionsanlage und ein wichtiger Indikator für die technische Stärke und Produktausbeute eines Herstellers. Sie werden von führenden Display-Unternehmen wie BOE, TCL CSOT, HKC und Tianma häufig in Kernprozessphasen wie Array, Zellmontage und Modulverpackung eingesetzt. Diese Reinräume unterliegen strengen Sauberkeitsstandards und dürfen nicht mehr als 100 schwebende Staubpartikel mit einem Durchmesser von mindestens 0,5 μm pro Kubikfuß Luft (weniger als oder gleich 3520 pro Kubikmeter) enthalten. Dieser Sauberkeitsgrad übertrifft bei weitem den von medizinischen Operationssälen und dient als „Kernbarriere“, um zu verhindern, dass Staub, statische Elektrizität und chemische Verunreinigungen die Präzisionsprozesse beeinträchtigen. Es handelt sich um eine zentrale Hardwarekomponente, die direkt die Bildqualität, Lebensdauer und Ergiebigkeit des Bildschirms bestimmt.
Die Werkstatt wird streng nach den internationalen und nationalen ISO-Standards entworfen und gebaut. Es verfügt über einen vertikalen, unidirektionalen Luftstrommodus, gepaart mit einem vier-stufigen ULPA-Filtersystem (Vor-Filter, Filter mit mittlerem-Effizienzgrad, Filter mit hohem-Effizienzgrad und Filter mit ultra-hohem-Effizienzgrad), wodurch eine Filtereffizienz von bis zu 99,999 % erreicht wird, wodurch eine sofortige Staubentfernung gewährleistet und tote Zonen des Luftstroms beseitigt werden. Gleichzeitig wird eine präzise Umgebungskontrolle in allen Dimensionen erreicht: eine konstante Temperatur von 23 ± 1 Grad, eine auf 45 %-55 % geregelte relative Luftfeuchtigkeit, ein im Reinraum aufrechterhaltener Überdruckzustand und ein Druckunterschied von mindestens 10 Pa zwischen angrenzenden Bereichen, wodurch das Eindringen von Staub von außen vollständig verhindert wird; In Anbetracht der Anfälligkeit von Anzeigetafeln gegenüber elektrostatischer Beschädigung werden selbstnivellierende Böden aus antistatischem Epoxidharz- verwendet. Für Wände und Decken werden Edelstahl 304 und Stahlplatten in Reinraumfarbe verwendet, wobei die Werte der statischen Elektrizität während des gesamten Prozesses streng kontrolliert werden. Es wird eine zusätzliche Kontrolle für chemische VOC-Schadstoffe auf molekularer Ebene und latente Störungen wie Mikrovibrationen bereitgestellt, wodurch die Anforderungen nanoskaliger Prozesse wie Photolithographie, Dünnschichtabscheidung und Flüssigkristallinjektion erfüllt werden.
Die Werkstatt verfügt über ein abgestuftes Reinraum-Zonendesign, das in einen Kernbereich der Klasse 100, einen Pufferbereich der Klasse 1000 und einen Hilfsbereich der Klasse 10.000 unterteilt ist. Die Schichten verhindern eine Kreuzkontamination und Personal und automatisierte Materialförderlinien sind vollständig getrennt. Das Personal muss sich einem dreifachen Prozess mit Kleidungswechsel, Luftdusche und elektrostatischer Erkennung unterziehen und darf den Raum nur betreten, wenn es einen Ganzkörper-Reinraumanzug, staubfreie Handschuhe und eine Schutzbrille trägt. Materialien werden durch ineinandergreifende Transferfenster transportiert und einer Behandlung zur Entfernung von Staub und statischer Elektrizität unterzogen. Der Innenraum ist mit FFU-Laminarströmungshauben, Online-Partikelzählern, Temperatur- und Feuchtigkeitssensoren, Differenzdruckmonitoren und anderen Geräten ausgestattet, um eine 24-Stunden-Echtzeitüberwachung und Datenrückverfolgbarkeit zu ermöglichen. Bei abnormalen Indikatoren werden sofort Warnungen ausgegeben und Anpassungen vorgenommen, um eine kontinuierliche Umgebungsstabilität sicherzustellen.
